結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,零件種類(lèi)、數(shù)量少,維護(hù)方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。
轉(zhuǎn)子型線嚙合均勻,密封性好,抽氣效率高;
轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn),泵運(yùn)行震動(dòng)小。
排氣路徑短,減少制程物沉積;
采用密封式結(jié)構(gòu),避免了因動(dòng)密封磨損而出現(xiàn)的潤(rùn)滑油外漏現(xiàn)象。
轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn),泵運(yùn)行震動(dòng)小
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