真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶(hù)的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。在我國(guó)，真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，但是雖然它的產(chǎn)量很大，但是產(chǎn)值卻不高。雖然真空泵是一個(gè)直接影響到真空成套設(shè)備性能質(zhì)量必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品，不過(guò)在真空泵產(chǎn)品的高端領(lǐng)域.，國(guó)產(chǎn)真空泵并不多，大量的市場(chǎng)份額被進(jìn)口企業(yè)所把持。真空泵的市場(chǎng)發(fā)展速度可以用日新月異來(lái)形容，幾乎每時(shí)每刻都在根據(jù)用戶(hù)需求的變動(dòng)而動(dòng)態(tài)變化著。真空泵市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于半導(dǎo)體工業(yè)的迅速發(fā)展、真空泵技術(shù)不斷革新以及真空泵應(yīng)用領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。

2015年3月16日，紐約PRNewswire，2015-2018中國(guó)真空泵行業(yè)報(bào)告中指出，真空泵廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等領(lǐng)域，近年來(lái)，隨著冶金、化工、食品等行業(yè)的快速發(fā)展，真空泵的市場(chǎng)也增長(zhǎng)迅速。2014年，中國(guó)真空泵的產(chǎn)量達(dá)到956萬(wàn)臺(tái),同比增長(zhǎng)了7.2%。據(jù)此預(yù)測(cè)，至2018年這個(gè)數(shù)字很有可能攀升至1184萬(wàn)臺(tái)，其中有5.5%的年均復(fù)合增長(zhǎng)率。

　　國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1%，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。

　　干式真空泵主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、電影、儀器、醫(yī)藥、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場(chǎng)上超過(guò)50%的產(chǎn)品是進(jìn)口的，尤其在半導(dǎo)體行業(yè)中，絕大多數(shù)的真空泵均為國(guó)外，國(guó)產(chǎn)真空泵主要應(yīng)用于化工等行業(yè)。

　　水環(huán)式真空泵行業(yè)在國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)上發(fā)展形勢(shì)都十分看好，我國(guó)這幾年的水環(huán)式真空泵發(fā)展態(tài)勢(shì)十分好，專(zhuān)家預(yù)測(cè)，到2020年，中國(guó)的水環(huán)式真空泵進(jìn)口額將達(dá)到驚人的50億美元。屆時(shí)將排在水環(huán)式真空泵進(jìn)口額3到6位的分別是：日本、印度、德國(guó)和法國(guó)。

　　近十年來(lái)，在少數(shù)水環(huán)式真空泵企業(yè)的帶動(dòng)下，多品種、密封性能、強(qiáng)度要求、調(diào)節(jié)功能、動(dòng)作性能和流通性能，特別是密封性能，都有了長(zhǎng)足的進(jìn)步。但就整體來(lái)說(shuō)，差距還很大，有很多工作要做。

　　目前各種真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的影響，一般的真空系統(tǒng)無(wú)法滿(mǎn)足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，因此近年來(lái)干式真空泵市場(chǎng)需求量很大,真空獲得產(chǎn)品已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無(wú)油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國(guó)外幾乎每一家較大的真空公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn),但其制造技術(shù)為國(guó)外掌握,我國(guó)尚處于起步階段,市場(chǎng)對(duì)于干式真空泵有迫切的需求。

　　目前干式螺桿真空泵國(guó)內(nèi)的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒(méi)有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)、降低排氣口溫度、增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問(wèn)題仍然很棘手，當(dāng)抽取一些活潑氣體時(shí)，由于排氣溫度高,安全性也是需要設(shè)計(jì)中考慮的，用在需要控制音量的場(chǎng)合，如何降噪也要成為研究方向。但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì)在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機(jī)在行內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。

　　隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量越來(lái)越大。由于這種泵數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國(guó)外真空廠(chǎng)商在中國(guó)建立專(zhuān)業(yè)廠(chǎng)。國(guó)產(chǎn)中小型直聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比國(guó)外的泵便宜，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封漏油以及旋片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行穩(wěn)定，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。水環(huán)真空泵作為新一代節(jié)能型產(chǎn)品，在市場(chǎng)上普遍受歡迎，水環(huán)式真空泵目前已經(jīng)得到廣泛的使用，如在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過(guò)程中，如真空過(guò)濾、真空引水、真空送料、得到廣泛的應(yīng)用，在市場(chǎng)上的需求量大。

　　國(guó)內(nèi)外各種真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國(guó)外各真空廠(chǎng)都在中國(guó)尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的穩(wěn)定性。

　　從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目前，國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。另外，還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的穩(wěn)定性。

　　目前，國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排氣口的下面裝有氣體冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷卻轉(zhuǎn)子，從而使壓縮熱得平衡，所以這種泵可以直排大氣。為了滿(mǎn)足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅茨泵，所達(dá)到的極限真空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前，這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。

　　分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。

　　由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿(mǎn)足不同場(chǎng)合的需要。

　　國(guó)內(nèi)廠(chǎng)家：信然螺桿真空泵【上海信然壓縮機(jī)有限公司】【信爾勝機(jī)械（江蘇）有限公司

信然噴油/干式螺桿真空泵技術(shù)

結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理，零件種類(lèi)、數(shù)量少，維護(hù)方便。比傳統(tǒng)真空泵節(jié)能明顯。

螺桿轉(zhuǎn)子

轉(zhuǎn)子型線(xiàn)嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高；
轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn)，泵運(yùn)行震動(dòng)小。

精湛的設(shè)計(jì)與制造

排氣路徑短，減少制程物沉積；
采用密封式結(jié)構(gòu)，避免了因動(dòng)密封磨損而出現(xiàn)的潤(rùn)滑油外漏現(xiàn)象。

精湛的設(shè)計(jì)與制造

轉(zhuǎn)子作G1級(jí)動(dòng)平衡實(shí)驗(yàn)，泵運(yùn)行震動(dòng)小。

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