信然螺桿真空泵迎來(lái)【深圳華為】合格供應(yīng)商技術(shù)人員的關(guān)注。帶著懷疑和不信，帶著專(zhuān)業(yè)的儀器和儀表到制磚廠(chǎng)客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)，測(cè)信然螺桿真空泵的實(shí)際真空度數(shù)據(jù)。結(jié)果對(duì)測(cè)試結(jié)果贊不絕口。所測(cè)數(shù)據(jù)均符滿(mǎn)足或大于客戶(hù)實(shí)際需求，尤其是噪音低于65分貝，讓客戶(hù)不敢相信。

信然螺桿真空泵：“只有你想不到，沒(méi)有我們做不到”的真空度和噪音。

信然螺桿真空泵：清潔；安全；耐磨；造價(jià)低；維修方便；性能穩(wěn)定；振動(dòng)小；噪音低等優(yōu)點(diǎn)。

在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的真空泵。我們把它們分成兩類(lèi):初級(jí)泵和高級(jí)真空泵。初級(jí)泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級(jí)真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為高級(jí)真空泵抽氣(見(jiàn)圖1).高級(jí)真空泵用來(lái)獲得壓力范圍10-3托到10-9托的高級(jí)和超高級(jí)真空。新型晶片廠(chǎng)中使用的現(xiàn)代真空泵是干性的，意味著其內(nèi)部沒(méi)有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤(rùn)滑劑。

信然公司螺桿泵特點(diǎn)：

1.轉(zhuǎn)子型線(xiàn)嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高。

2.極限真空高，極限壓力可達(dá)0.2Pa。

3.進(jìn)口了一批螺桿轉(zhuǎn)子專(zhuān)用加工中心，加工精度高，產(chǎn)品性能穩(wěn)定。

4.螺桿泵轉(zhuǎn)子均作G1級(jí)動(dòng)平衡試驗(yàn)，運(yùn)行時(shí)泵的振動(dòng)小。

5.泵標(biāo)配定制電機(jī)，泵油腔與電機(jī)之間形成封閉式結(jié)構(gòu)，取消了電機(jī)端軸伸動(dòng)密封，杜絕了軸端漏油問(wèn)題。

6.泵標(biāo)配專(zhuān)用可拆洗式消聲器，消聲效果好，噪聲低；同時(shí)便于拆洗維護(hù)。

7.螺桿泵結(jié)構(gòu)合理，能適應(yīng)多種維護(hù)、保養(yǎng)措施，對(duì)多種對(duì)泵有危害性的情況擁有相對(duì)應(yīng)的處理方法，并可配置相對(duì)應(yīng)的結(jié)構(gòu)或附件，針對(duì)性強(qiáng)、維護(hù)效果好，操作簡(jiǎn)單，處理時(shí)間短，能更好地保障設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

如圖所示,信然螺桿真空泵內(nèi)裝有一-對(duì)平行的螺旋狀的轉(zhuǎn)子,兩個(gè)轉(zhuǎn)子的泵體內(nèi)通過(guò)一對(duì)精密齒輪保持同步反向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵體之間又有摩擦且保持一-定的間隙 ,兩個(gè)轉(zhuǎn)子與...

壓強(qiáng)范圍  真空泵種類(lèi) 工作壓強(qiáng)范圍（Pa） 起動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）

螺桿式真空泵 200～1100  1105。

活塞式真空泵 1105～1.3102 1105。

旋片式真空泵 1105—6.710-1 1105。

水環(huán)式真空泵 1105—2.7103 1105。

羅茨真空泵 1.3103—1.3 1.3103。

渦輪分子泵1.3—1.310-5 1.3。

水蒸氣噴射泵 1105—1.310 -1 1105。

油擴(kuò)散泵 1.310-2—1.310 -7 1.310。

油蒸氣噴射泵 1.310—1.310 -2<1.3105。

分子篩吸附泵 1105—1.310 -1 1105。

濺射離子泵 1.310-3—1.310 -9 6.710-1。

鈦升華泵 1.310-2—1.310 -9 1.310-2。

鋯鋁吸氣劑泵 1.310—1.310 -11 1.310。

低溫泵 1.3—1.310-11 1.3—1.310-1。

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